03795745541179C02723CR1BV MKS Vietnam – Bộ điều khiển lưu lượng khí Mass Flow Controller (MFC) chính xác cao
Giới thiệu
1179C02723CR1BV MKS là bộ điều khiển lưu lượng khí Mass Flow Controller (MFC) thuộc dòng 1179C Mass-Flo®, được thiết kế để đo và điều khiển lưu lượng khí với độ chính xác cao trong các hệ thống chân không, sản xuất bán dẫn, phòng thí nghiệm và các quy trình công nghiệp.
Thiết bị sử dụng công nghệ Thermal Mass Flow Sensor kết hợp với van điều khiển điện tử đáp ứng nhanh, giúp duy trì lưu lượng khí ổn định, độ lặp lại cao và giảm sai số trong quá trình vận hành. Dòng 1179C hỗ trợ dải lưu lượng từ 10 sccm đến 20 slm, đáp ứng nhiều ứng dụng và nhiều loại khí khác nhau.
Đặc điểm nổi bật
-
Bộ điều khiển lưu lượng khí (Mass Flow Controller) hiệu suất cao.
-
Công nghệ cảm biến lưu lượng nhiệt (Thermal Mass Flow).
-
Điều khiển lưu lượng chính xác và ổn định.
-
Dải lưu lượng từ 10 sccm đến 20 slm (tùy cấu hình).
-
Độ chính xác lên đến ±1% Full Scale.
-
Độ lặp lại ±0,2% Full Scale.
-
Thời gian đáp ứng nhanh (<2 giây).
-
Thiết kế chuẩn 3 inch, dễ dàng thay thế các MFC cùng kích thước.
-
Đầu nối điện chuẩn D-Sub 15 Pin.
-
Tương thích với các bộ nguồn và bộ hiển thị MKS thế hệ trước.
-
Bề mặt tiếp xúc lưu chất bằng 316L Stainless Steel.
-
Hoạt động ổn định liên tục 24/7 với độ tin cậy cao.
Thông số kỹ thuật
| Thông số | Giá trị |
|---|---|
| Model | 1179C02723CR1BV |
| Hãng | MKS Instruments |
| Dòng sản phẩm | 1179C Mass-Flo® |
| Loại thiết bị | Mass Flow Controller (MFC) |
| Công nghệ đo | Thermal Mass Flow |
| Chức năng | Đo và điều khiển lưu lượng khí |
| Dải lưu lượng | 10 sccm đến 20 slm (tùy cấu hình) |
| Độ chính xác | ±1% Full Scale |
| Độ lặp lại | ±0,2% Full Scale |
| Tín hiệu điều khiển | 0–5 VDC |
| Tín hiệu ngõ ra | 0–5 VDC |
| Nguồn cấp | ±15 VDC |
| Áp suất đầu vào tối đa | 150 psig |
| Vật liệu tiếp xúc | 316L Stainless Steel |
| Kiểu đầu nối | D-Sub 15 Pin |
| Ứng dụng | Điều khiển lưu lượng khí công nghiệp |
Lưu ý: Mã 1179C02723CR1BV là mã cấu hình riêng của MKS. Các thông số như dải lưu lượng danh định, loại khí hiệu chuẩn và kiểu đầu nối cơ khí được xác định theo cấu hình đặt hàng của nhà sản xuất.
Ứng dụng
-
Hệ thống sản xuất bán dẫn.
-
Thiết bị chân không.
-
Hệ thống phủ màng PVD/CVD.
-
Thiết bị phân tích khí.
-
Phòng nghiên cứu và phòng thí nghiệm.
-
Công nghiệp hóa chất.
-
Công nghiệp điện tử.
-
Thiết bị laser.
-
Hệ thống phối trộn khí.
-
Dây chuyền tự động hóa yêu cầu kiểm soát lưu lượng chính xác.
1179C02723CR1BV giúp duy trì lưu lượng khí ổn định, nâng cao độ chính xác của quy trình sản xuất, giảm tiêu hao khí và tối ưu hiệu quả vận hành trong các hệ thống công nghệ cao.
Kết luận
1179C02723CR1BV MKS là bộ điều khiển lưu lượng khí Mass Flow Controller chất lượng cao, đáp ứng các yêu cầu khắt khe về độ chính xác và độ ổn định trong công nghiệp. Với công nghệ cảm biến nhiệt tiên tiến, thiết kế nhỏ gọn, khả năng tương thích cao và độ tin cậy lâu dài, sản phẩm là lựa chọn phù hợp cho các ứng dụng trong ngành bán dẫn, chân không, hóa chất và tự động hóa hiện đại.
