03795745541179C02753CR1BV MKS Vietnam – Bộ điều khiển lưu lượng khí Mass Flow Controller (MFC) chính xác cao
Giới thiệu
1179C02753CR1BV MKS là bộ điều khiển lưu lượng khí (Mass Flow Controller – MFC) thuộc dòng 1179C Mass-Flo®, được thiết kế để đo và điều khiển chính xác lưu lượng khí trong các hệ thống chân không, bán dẫn, phòng thí nghiệm và quy trình công nghiệp.
Thiết bị sử dụng cảm biến lưu lượng nhiệt (Thermal Mass Flow Sensor) kết hợp với van điều khiển điện tử, cho phép kiểm soát lưu lượng khí ổn định, phản hồi nhanh và có độ lặp lại cao. Dòng 1179C hỗ trợ nhiều dải lưu lượng từ 10 sccm đến 20 slm, phù hợp với nhiều loại khí và ứng dụng khác nhau.
Đặc điểm nổi bật
-
Bộ điều khiển lưu lượng khí (Mass Flow Controller) độ chính xác cao.
-
Công nghệ cảm biến lưu lượng nhiệt (Thermal Mass Flow).
-
Điều khiển lưu lượng ổn định và có độ lặp lại cao.
-
Dải lưu lượng đa dạng từ 10 sccm đến 20 slm (tùy cấu hình).
-
Thời gian đáp ứng nhanh, giảm thời gian ổn định hệ thống.
-
Thiết kế chuẩn 3 inch, dễ dàng thay thế các MFC cùng kích thước.
-
Tương thích với nhiều bộ nguồn và bộ hiển thị của MKS.
-
Đầu nối điện chuẩn D-Sub 15 chân.
-
Vật liệu tiếp xúc lưu chất bằng thép không gỉ 316L.
-
Gioăng làm kín Viton® phù hợp nhiều loại khí công nghiệp.
-
Độ ổn định điểm 0 cao, giảm sai số trong quá trình vận hành.
-
Phù hợp hoạt động liên tục 24/7.
Thông số kỹ thuật
| Thông số | Giá trị |
|---|---|
| Model | 1179C02753CR1BV |
| Hãng | MKS Instruments |
| Dòng sản phẩm | 1179C Mass-Flo® |
| Loại thiết bị | Mass Flow Controller (MFC) |
| Công nghệ đo | Thermal Mass Flow |
| Chức năng | Đo và điều khiển lưu lượng khí |
| Dải lưu lượng | 10 sccm đến 20 slm (tùy cấu hình) |
| Độ chính xác | ±1% Full Scale |
| Độ lặp lại | ±0.2% Full Scale |
| Tín hiệu điều khiển | 0–5 VDC |
| Nguồn cấp | ±15 VDC |
| Áp suất đầu vào tối đa | 150 psig |
| Vật liệu tiếp xúc | Stainless Steel 316L |
| Vật liệu gioăng | Viton® |
| Đầu nối điện | D-Sub 15 Pin |
| Ứng dụng | Điều khiển lưu lượng khí trong công nghiệp |
Lưu ý: Mã 1179C02753CR1BV là một mã cấu hình riêng của dòng 1179C. Dải lưu lượng, loại khí hiệu chuẩn và kiểu đầu nối cơ khí được xác định theo mã đặt hàng chi tiết từ nhà sản xuất.
Ứng dụng
-
Hệ thống sản xuất bán dẫn.
-
Thiết bị chân không.
-
Dây chuyền phủ PVD/CVD.
-
Hệ thống phân tích khí.
-
Thiết bị nghiên cứu và phòng thí nghiệm.
-
Công nghiệp hóa chất.
-
Công nghiệp điện tử.
-
Thiết bị laser.
-
Hệ thống phối trộn khí công nghiệp.
-
Các dây chuyền tự động yêu cầu điều khiển lưu lượng khí chính xác.
1179C02753CR1BV giúp duy trì lưu lượng khí ổn định, nâng cao độ chính xác của quy trình, tối ưu hiệu suất vận hành và giảm tiêu hao khí trong các hệ thống tự động hóa và công nghệ chân không.
Kết luận
1179C02753CR1BV MKS là bộ điều khiển lưu lượng khí Mass Flow Controller chất lượng cao, đáp ứng yêu cầu kiểm soát lưu lượng chính xác trong các ứng dụng công nghiệp và nghiên cứu. Với công nghệ cảm biến nhiệt tiên tiến, độ ổn định cao, khả năng phản hồi nhanh và thiết kế dễ dàng tích hợp, sản phẩm là lựa chọn phù hợp cho các hệ thống bán dẫn, chân không, hóa chất và tự động hóa hiện đại.
